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高純多孔石墨
所屬分類:
半導體應(yīng)用
概要:
多孔石墨,經(jīng)青島高泰特殊成型工藝及高純化處理制成,在半導體晶體生長中起重要作用。
- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: 高純多孔石墨
多孔石墨,經(jīng)青島高泰特殊成型工藝及高純化處理制成,在半導體晶體生長中起重要作用。
介紹
多孔石墨,經(jīng)青島高泰特殊成型工藝及高純化處理制成,在半導體晶體生長中起重要作用。
優(yōu)勢
● 耐高溫(>2500℃)
● 表層顆粒結(jié)合能力強,抗掉粉
● 嚴格的孔隙率控制
● 高純度處理
● 阻斷微量雜質(zhì)
● 平衡氣相
● 降低晶體缺陷
● 增加晶體生長厚度
應(yīng)用
● 碳化硅 (SiC) 單晶生長部件
性能
項目
單位
數(shù)值
密度
g/cc
1.16
抗折強度
Mpa
16
氣孔率
%
47
平均孔徑
um
40
表面粗糙度
Ra
0.3
關(guān)鍵詞:
高純多孔石墨
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